截至2022年8月，已导入晶圆十五B厂、晶圆十八B厂且效果良好，并进一步纳入新建厂区标准设计；既有厂区以3年为期规划「高效能喷水装置增设专案」，全面提升空气排放处理效率，使半导体技术发展与环境永续共融。
先进制程技术持续演进的同时，台积电亦关注制程排气处理效率的提升，针对半导体制程产生的尾气特性，采用不同控制技术的现址式空气处理设备进行预先处理。由于炉管制程机台尾气的电热水洗式处理设备，其使用的二氯矽烷与氯气会于设备内部产生盐酸气体及大量细悬浮微粒。
对此，台积电携手供应商研发由二流体喷嘴及除尘喷水装置组成的高效能喷水装置，该装置利用高压空气于二流体喷嘴内部击碎液体，使液体雾化成液滴以缩小粒径，借此增加与污染物的接触面积，并使其凝合成较大的固态粒状物后，再透过除尘喷水装置达到拦截作用，经实测可提升削减效果。
除改善既有空气处理设备、精进效能，台积电也持续引进新型设备提升污染物削减率，于晶圆十二厂B厂导入大流量（2,500公升／分钟）的燃烧式处理设备，不仅使污染物削减率达95%以上，以集中式高温处理制程尾气还可降低38%热损失、减少37%安装占地面积、50%管路配置费用与定期保养人力，亦已列为未来新建厂区标准设计；台积电预计2023年针对水洗设备引进新型滤网，透过更高的比表面积吸附细悬浮微粒，预估削减率将提升70%，持续实践绿色制造使命。
