台积电致力推动水资源永续管理，积极落实制程节水与废水分流，厂区水回收已达一滴水使用3.5次的成效。
台积电指出，水的品质、纯度与稳定来源对晶片生产过程至关重要，为更善用每一滴水资源，台积电于2015年起投入再生水技术研发，建置模厂并以实厂废水进行测试，透过反复调整处理程序强化水质。
有鉴于先进制程洁净度需求提升与系统运转优化，为使再生水品质符合制程规格，台积电也集结工业技术研究院、中鼎集团、国立台湾大学、国立阳明交通大学等产官学界力量，开发导入低能耗生物处理、低能耗污泥处理、高效能尿素去除等创新技术，并与台南市政府及南部科学园区管理局合作建置供水模式，借由多重且即时自动化水质监测，确保再生水供应品质。
台积电南科再生水厂是台积电南科厂区再生水制造、侦测与供应中心，除回收南部科学园区污水厂放流水以产制工业再生水外，并于永康及安平污水厂市政再生水进入厂区前把关水质；目前台积电也投入研发以废热进行浓缩废水回收与污泥资源化技术，避免浓排废水外流，进一步降低环境冲击，预计2026年南科再生水厂产能将提升至每日供水3万6,000公吨，持续降低自来水用量需求并友善环境。
台积电强调，拓展多元水资源为台积电水管理永续发展的重要策略，将持续扩大再生水应用范围，今年已启动竹科再生水厂专案，预计2025年每日可供应工业再生水1万公吨，导入2奈米制程厂区并配合市政再生水供应，未来可达成竹科新建厂区100%使用再生水，目标于2030年台湾厂区再生水替代率达60%以上，提高组织营运韧性，实践水循环永续行动。
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