台积电表示，面对日益严峻的极端气候，公司积极创造更多节水省电机会点，2021年针对晶圆传送盒清洗机台研发渐进式开关水阀，借由自动控制热水输出多寡，于机台未运作时减少50%供水量，达到年省38万公吨纯水与1,533万度电。
为更优化热水使用效率，智能工程中心、晶圆12B厂与供应商持续深入分析机台能耗及运转参数，进一步设计热水封闭回路，透过加装泵浦与冷热水自动控制切换阀门，在确保水温稳定的前提下，利用泵浦将机台未运作时的热水全部导回热水器继续使用，达到100%回收效益。
热水回收循环系统已列为台积电12吋晶圆厂区未来新购晶圆传送盒清洗机台的标准配备，目标至2030年可年省140万公吨纯水及1亿1,000万度电。
台积电智能工程中心处长林震宾指出，秉持精益求精的精神，台积电持续发挥创新想法，透过改造机台并开发新功能，持续提升能源使用效率。
台积电强调，秉持机台节能最大化的原则，也持续评估改造晶圆传送盒清洗机台腔体与喷嘴设计以降低干燥气体使用量，同时开发腔体未运作期间的节能模式，预计2023年第1季进行验证，朝每台晶圆传送盒清洗机台节能30%的绿色目标前进。
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