经济部表示，核定通过艾司摩尔「下世代晶圆量测设备研发伙伴计划」，计划总经费为9.5亿元，其中，经济部补助2.85亿元，占总经费30%，计划执行期间为2年。
「下世代晶圆量测设备研发伙伴计划」聚焦2奈米晶圆光学量测设备研发制造，经济部官员表示，艾司摩尔选择在台研发全球唯一的2奈米量测设备，2奈米设备未来将进驻艾司摩尔的林口新厂生产，相关的晶圆精密定位平台等核心技术也会在台湾落地。
经济部官员表示，希望艾司摩尔投资能带动台湾供应链，双方磋商期间，经济部在推荐合作厂商时花费较多时间讨论，最终艾司摩尔同意将自给率提高至35%、增加6家台湾供应商，以及在台采购金额拉高至每年72亿元。
经济部官员表示，艾司摩尔选择加大力道投资台湾，主因为台湾有供应链系统支持，并且接近半导体客户和供应商，透过技术合作可提升本土供应链量能。（中央社）
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