蔚华科擕手南方科技抢攻化合物半导体商机 首创非破坏性缺陷检测系统
【记者陈修凯/台北报导】半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技(3055)携手旗下数位光学品牌南方科技,共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统,采用先进非线性光学技术对SiC基板进行全片扫描,找出基板内部的致命性晶体缺陷,用以取代现行高成本的破坏性 KOH(氢氧化钾)蚀刻检测方式,可提升产量并有助于改善制程。若以每个SiC晶锭需蚀刻2片基板来计算,JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的基板厂省下每年2.5亿因蚀刻而损耗的成本。