蔚华科擕手南方科技抢攻化合物半导体商机　首创非破坏性缺陷检测系统

【记者陈修凯／台北报导】半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技（3055）携手旗下数位光学品牌南方科技，共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术对SiC基板进行全片扫描，找出基板内部的致命性晶体缺陷，用以取代现行高成本的破坏性 KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，可提升产量并有助于改善制程。若以每个SiC晶锭需蚀刻2片基板来计算，JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的基板厂省下每年2.5亿因蚀刻而损耗的成本。