埃米时代太烧钱!设备价格飙破200亿 台积电等先进制程厂商却步
【记者吕承哲/综合外电】生产先进制程的关键半导体设备、荷商艾司摩尔(ASML)在去年底出货首台高数值孔径极紫外光(High-NA EUV)曝光机给美国半导体巨头英特尔,今年4月再度出货,市场据传是全球晶圆代工龙头台积电,这款设备将用于2奈米以下制程,造价最高来到3.5亿欧元(逼近120亿元新台币),比现在的EUV机台1.5亿至2亿美元(约为65亿元新台币)多了将近1倍。现在传出,将在2030年推出的Hyper-NA EUV曝光机售价,连台积电、三星以及英特尔都望之却步。