台积电营运资深副总经理秦永沛指出，使用无毒又环保的绿色原物料是台积电有害物质管理的目标，在同仁努力下，终于克服困难达成NMP减量95%，是台积公司推动绿色制造的重要里程碑，期能完成100%替代，将原物料的健康与环境风险降至最低。
台积电有害物质管理以QC 080000有害物质流程管理系统为标准，基于保护人体健康与降低环境冲击，秉持能不用就不用、能少用就少用的原则，依规划、执行、查核、行动的管理循环模式持续改善有害物质使用。
针对工业普遍使用的化学品NMP，台积电主要将其做为制程中去光阻后清洗晶圆的溶剂，为降低人员暴露与环境污染风险，台积公司超越法规要求，于2016年自主推动「去光阻湿式清洗制程NMP替代计划」，7奈米（含）以下先进制程完全排除使用 NMP，既有厂区则陆续进行替代作业，并订定2030年台湾厂区达成100% NMP替代的目标。
借由与客户紧密合作，台积电各厂区工程部、制造部及湿蚀刻技术委员会除针对制程进行替代性材料评估外，因替换过程亦须改变设备硬体与制程参数，在不影响产品良率的前提下，历经多次配方调整、反复测试，以达制程最适化，透过跨厂区合作于2022年10月完成去光阻湿式清洗制程机台修改，同时建立机台维修保养机制，确保后续生产品质无虞。
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