台积电作为台湾护国神山，创新的浸润式微影技术就是产业突破关键，而相关技术就是2002年由林本坚发明。林本坚曾任IBM华生实验室及生产单位22年，带领团队创造包括：1微米、0.75微米、0.5微米微影技术。
林本坚加入台积电后，曾任研发副总经理，致力于半导体制程科技，协助台积电建立台湾完整半导体产业体系，在2002年开始研发193奈米浸润微影技术，让台积电陆续成长6个技术世代，成为世界领先者。成为世界的领先者，也让台积电在65奈米以下先进制程贡献极大。
林本坚指出，随著半导体制程的进展，IC愈来愈小，速度却愈来愈快，功能也愈来愈多，关键之一在于微影技术的突破。半导体已从5微米一路发展至5奈米。
林本坚进一步指出，微影技术从70年代的5微米开始，经过许多光学系统、波长、镜头、光源、光罩、光阻化学、制程创意及量测技术的改进，使半导体科技迈进21世代，提升功能、降低成本，使摩尔定律得以不断被实现。
林本坚举例，半导体微影克服困难的各转捩点，2016年半导体产业已有82%采用微影技术，而到2017年1.5亿片12吋晶圆使用微影技术，创造750亿美元，等于2.3兆元台币产值。
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