路透社报导,每台新机器成本将超过3亿美元,料将帮助电脑晶片制造商生产更小、更快的半导体。
艾司摩尔在社群媒体平台X上发布一张机器从荷兰费尔德霍温(Veldhoven)总部出货的照片,并且发文表示:「我们很兴奋也很骄傲,能够向英特尔交付我们第一套高数值孔径极紫外光系统。」
艾司摩尔在曝光机市场上居主导地位,曝光机利用雷射把电路图印在晶片上。高数值孔径机器组装后比一辆卡车还大,将用250个单独的货箱运送,其中包括13个大型货柜,预计将于2026年或2027年开始用于商业晶片制造。
英特尔于2022年订购首台高数值孔径试验机。已经订购这款机器的晶片制造商还包括台积电、三星(Samsung)、SK海力士(SK Hynix)和美光(Micron)。(中央社)
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