不怕英特尔弯道超车？　台积电张晓强回应采用High-NA EUV时机

由于独家供应EUV曝光机的荷兰半导体设备商艾司摩尔（ASML）今年初已经交付首台High-NA EUV机台，英特尔也在今年4月宣布已经完成装机，主持人提问，这对台积电会造成什么影响？张晓强回复，台积电研发团队会持续专注在新一代EUV应用，台积电将选择最合适的制程节点来使用，因为这要考量到很多因素，包括制造成本。张晓强也声称，台积电最先进的A16技术将于台湾生产，预计在2026年下半年投产。

张晓强曾表示，A16制造流程比预期快了许多，他认为不需要High-NA EUV 机台也能打造A16制程的晶片。张晓强解释，他非常喜欢High-NA EUV 机台的性能，但是售价实在是太贵了。张晓强当时认为，台积电可以在更先进的制程再采用High-NA EUV 机台，这使得台积电可以大幅降低生产成本，让产品保持更好的竞争力。

台积电也在技术论坛说明，A16结合超级电轨（Super Power Rail）架构与奈米片电晶体，预计于2026年量产。超级电轨技术将供电网路移到晶圆背面而在晶圆正面释出更多讯号网路的布局空间， 借以提升逻辑密度和效能， 让A16适用于具有复杂讯号布线及密集供电网路的高效能运算（HPC）产品。

也曾有报导揭露，High-NA EUV机台价格昂贵，造价最高来到3.5亿欧元（逼近120亿元新台币），比现在的EUV机台1.5亿至2亿美元高了将近1倍，根据ASML在近期的财报会议揭露，第二季已经出货第二台High-NA EUV机台，目前正在组装，市场研判为台积电，至于第一台仍在进行晶圆测试。

根据《Digitimes》报导，按照台积电安排时程，High-NA EUV机台不会用在A16之后、而是将于2027年量产的A14，但并非首代，而是改良版的A14P，预计2028年推出。