Fractilia FAME 300专为量产晶圆厂设计，能即时测量和监控先进节点微影图案化误差中的随机效应(stochastic)，其全新FAME OPC套件，能自动化测量多种随机效应并缩短运算时间，提升微影图案化中的OPC建模精准度，对High-NA EUV制程精度具关键影响。可用于所有SEM工具、High-NA EUV与OPC资料串流，帮助先进半导体提高良率、降低制程风险，实现高效稳定生产。
本次展出产品包括来自德国的Intelligent Fluids的物理性去光阻技术、EcoDesign的Metal Free臭氧水产生设备、Prognosis普格诺斯科技的智能振动感测器、FlowVIEW邑流科技的湿制程微污染监控解决方案、AI Particle Imager影像检测仪，日本大厂Morikawa和德国新创公司CNM Technologies的合作，主要实绩为面板厂、自动化设备厂与半导体客户。
资腾科技作为提供尖端技术解决方案的专业销售平台，已在市场建立了稳固的合作伙伴关系。透过与和淞科技、韶扬科技、友达数位、邑流科技、普格诺斯科技、其阳科技、帝毕仕等多家知名厂商的紧密合作，为客户提供精确应对先进制程和 EUV 应用挑战的解决方案，致力于帮助客户提升制程良率、降低生产风险，并期待与更多合作伙伴携手，共同推动半导体技术的持续创新与发展。
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