TEL 投入1.5兆日圆经费,加大五年内研发投资力道,同时由永续角度出发,推出高效能、低功耗的四大半导体制造技术,协助客户超前部署,迈向永续。以后段封装的「先进雷射分离制程 (Extreme Laser Lift-Off, XLO) 」为例,利用精准雷射,在晶圆接合工序中薄化晶圆,建构3D多层堆叠制程应用,此制程也可相对最佳化传统晶圆薄化制程时的隐裂缺陷,省去相对应的修复步骤,另相较于传统湿式研磨,可节省90%纯净水,且分离的晶圆可以回收再利用,大大降低客户成本。AcreviaTM则应用在前段EUV曝光及干蚀刻程序后,利用独特气体团簇束技术,提供前所未有的精准、低损伤处理,为客户进一步实现提高产量、降低EUV曝光成本的目标。另外,TEL的极低温蚀刻技术和雷射晶边修整系统也正协助客户,将先进半导体制造推向永续。

Tokyo Electron开发先进雷射分离制程,相较于传统做法,可减少制程步骤,并大幅降低90%纯净水使用。东京威力科创提供
Tokyo Electron开发先进雷射分离制程,相较于传统做法,可减少制程步骤,并大幅降低90%纯净水使用。东京威力科创提供

AI应用和半导体制造设备的发展相辅相成,机台制造出先进晶片,先进晶片则促成机台生命周期的数位转型。TEL提出,以数位孪生进行测试、制程模拟,并以机器人完成装配,量产后机台自动搜集参数并进行诊断,利用演算法完成优化。数位转型后的半导体制造设备生产,将可大幅提高装配成功机率、缩短装机时间、确保工安并降低运营成本,是半导体产业不可藐视的趋势。

对此,TEL 集团 GM 洛彼得和 Fellow 关口章久特别受邀来台,以「AI时代的半导体制造愿景」为题,于SEMICON Taiwan 9/6(五)的IC Forum进行专题演讲,欢迎各界莅临聆听。

TEL台湾子公司东京威力科创总裁张天豪表示,「台湾半导体产业发展至今,不论是技术、人才与供应链,都已在世界扮演著关键的角色,进而推动未来人工智慧产业的创新。TEL与客户及产业伙伴在台紧密合作、布局全球,一起持续推动半导体产业蓬勃发展。」

为此,东京威力科创除了台湾技术中心、台湾训练中心之外,全新的台南营运中心也已预定于12月3日开幕,盼借此强化台湾半导体供应链,一同实现永续未来。


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