随著半导体技术不断演进,Chiplet技术的兴起带来了新的挑战,除了气泡问题,还衍生出晶片背面爬胶问题、助焊剂残留的难题,尤其助焊剂残留会进一步影响封装的可靠性,增加了制程的复杂性和风险。为了应对这些新挑战,印能推出第四代RTS (Residue Terminator System) 机型。RTS不仅保留了VTS卓越的除泡能力,还专门针对Chiplet技术所带来的爬胶问题以及助焊剂残留问题进行优化;彻底消除封装过程中的气泡和残留物,显著提升小晶片封装的良率和稳定性。

印能推出的BMAC(High Power Burn In System) 高功率预烧测试机,融合了印能降温的成熟技术,成为全球唯一能够使用气冷方式解决单晶片1200W应用于Burn-in测试甚至已开始投入Server Rack气冷散热问题的研发。在半导体制程中,Burn-in测试是提升产品可靠性的关键步骤,而高功率的处理器和元件在此过程中往往面临散热挑战。传统的散热方式可能导致热应力、结构完整性问题以及冷凝现象,进而影响元件的性能和寿命。BMAC系统通过创新的气冷技术,有效控制温度变化,避免了快速降温引起的各类问题,确保元件在高压、高温条件下依然能够稳定运行,并显著提升整体制程的可靠性和效率。

印能指出,在半导体制程,除了气泡与散热问题外,晶圆因受热、应力或其他制程因素会导致表面不平整或翘曲的现象,也就是所谓的Wafer Level Warpage(晶圆级翘曲),这是一个长期存在的痛点;随著制程变得越来越复杂,这一问题在未来的Panel Level封装中将变得更加严重;然而,针对Panel Level翘曲问题的解决方案,目前市场上尚无有效的产品。

为了有效解决此痛点,印能推出了WSS (Warpage Suppression System),可有效抑制翘曲现象,并尝试应用于提升3D Hybrid Bond的良率,为业界带来一个关键的技术突破,进一步提高了半导体制程的稳定性和产品质量。

印能表示,透过RTS、BMAC以及WSS等创新技术,不仅有效解决了气泡、助焊剂残留、散热和翘曲等问题,还显著提升了制程的良率与稳定性。在半导体技术不断演进的同时,亦能持续为全球客户提供高效可靠的解决方案,巩固公司在先进制程解决方案领导者的地位。


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