根据《日经亚洲》报导， High NA EUV 机台要价约3.5亿美元，换算超过110亿元新台币，报导指出，台积电考虑使用该设备生产A10制程，比起2025年就要开始量产的2奈米制程还要先进2代，若根据台积电先进制程蓝图规划，A16制程预计在2026年下半年投产，报导指出可能会等到2030年才会更广泛采用 High NA EUV 机台进行大规模量产。
根据先前消息，台积电要使用High NA EUV机台生产晶片，将等到2028年推出的改良版A14P制程。
在此之前，英特尔第一季成为全球首家收到High NA EUV 机台的半导体公司，并在第二季收到第二套，试图在先进制程挽回颓势；此外，三星也传出将在2025年取得设备。不过，从ASML先前揭露的财报显示，新增EUV订单遭到腰斩，外界推出台积电应该持续布局投资，可能是英特尔、三星在先进制程节点研发与量产的挫败，导致战略调整下，减少采用EUV机台所致。
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