因应气候变迁是企业永续经营的责任，台积电承诺2050年达到净零排放并发布《气候相关财务揭露报告》，除自身推动气候风险控管与减缓行动，亦积极带动半导体供应链落实低碳管理。
台积电资材供应链管理处处长柯宗杰指出，绿色供应链是台积电达成2050年净零排放的重要一环，透过与供应商合作挖掘节能减碳机会点，共同促进环境永续发展。
当工业级液态二氧化碳于精馏塔中纯化后，高纯度的二氧化碳会进入冷冻机制成电子级液态二氧化碳，是半导体制程的关键原料，而纯度较低的二氧化碳则会被分离排出。
供应链营运过程产生的碳排放是台积电极为重视的一环，为友善环境并提升二氧化碳使用效率，台积电在不影响原有制程品质的前提下，于2021年第1季启动「供应商液态二氧化碳之碳捕捉计划」，鼓励供应商透过改造精馏塔塔顶的管路，增设回收管线捕捉被分离的二氧化碳，将其导回塔内进行再次纯化，同时搭配制冷效果更佳的冷冻机优化提纯效率至90%以上，有效提升能源运用效益。
台积电持续扩大供应链管理中的碳捕捉机会点，亦建议供应商针对其回厂槽车设计二氧化碳残液回收系统，增设管线将槽车内残余的液态二氧化碳汽化后，透过冷冻机冷凝成液态二氧化碳，再进入原料槽重新导回精馏塔进行二次纯化，今年7月已完成设备建置并试运转，预估未来正式上线后每年可减碳约1,000公吨。
此外，对于制造过程会直接排放二氧化碳的供应商，台积电同时鼓励其设置碳捕捉设备优化减碳效益，一同为发展永续的半导体供应链全力以赴。
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