从美国RCA引进技术，在工研院电子所建立的3吋晶圆、7.5微米制程的「IC示范工厂」，是台湾迈入IC制造业的第一步。
IC(积体电路)制造技术的发展趋势，是晶圆尺寸愈来愈大，而制程则愈来愈小。早期IC的线距很大，因此每颗IC可容纳的电晶体数目有限。
1960年代是IC产业的萌芽期，此时的IC为「小型积体电路」(SSI)，一颗IC最多仅能容纳约100个电晶体。之后进步到「中型积体电路」(MSI)，每苛IC可容纳101-1000个电晶体，台湾当时引进的IC技术为MSI范畴。
1970年代末期，IC技术进步到「大型积体电路」(LSI)，每颗IC可容纳的电晶体数目大幅增加，最多可容纳1万个电晶体。进入1980年代，IC制造技术更迈入新的境界，「超大型积体电路」(VLSI)，每颗IC最多可容易10万个电晶体。
工研院电子所在成功量产IC后，接下来开始研发LSI技术，同时也从美国IMR公司引进光罩制造技术。
继LSI开发计划后，电子所从1983年起，在政府29亿台币经费的支援下，开始执行「VLSI技术发展计划」，于1986年建立完成6吋VLSI晶圆厂，制程技术为2.5微米。
1985年8月，在美国半导体业界赫赫有名的张忠谋，接受工研院董事长徐贤修的邀请，到台湾担任工研院院长。张忠谋曾任职于美国德州仪器(TI)，掌管半导体事业经营，为TI立下不少战功。
早在张忠谋还任职于TI之际，李国鼎就数度到美国力邀张忠谋到台湾工作，当时行政院长孙运璇，已经为他准备数个主到台湾高科技发展的职务(工研院院长是其中之一)，不过张忠谋都没有答应。
之后，在工研院董事长徐贤修三度力邀之下，54岁的张忠谋，终于答应徐贤修的邀请，到台湾担任工研院院长。
对张忠谋而言，这是重大的转变，从美国到台湾，张忠谋能否再创事业新局面，是未定之天。事后看来，张忠谋到台湾发展，不仅将台湾IC产业推到全球最令人羡慕的地位，也让他成为全球令人敬佩的半导体大师。
张忠谋接任工研院院长时，联电已成立5年，有一座4吋晶圆厂，制程技术为3.5微米。电子所执行的「VLSI技术发展计划」，6吋厂正在兴建中。
1984年间，有三批留美学人，返台设立IC设计公司，分别为陈正宇创立的茂矽、欧植林的华智及庄人川的国善，他们分别向政府请求交通银行投资，支持盖晶圆厂。
尽管这3家IC设计公司皆专注于记忆体IC，然而这可看出，台湾IC设计公司已开始兴起。本土的IC设计公司太欣半导体，已于1983年成立。尽管当时台湾IC设计的规模仍小，但晶圆代工的需求正快速成长，尤其是来自美国的需求。
电子所的「VLSI技术发展计划」已为台湾立下IC制造的基础，与台湾IC制造技术，美、欧、日最先进的技术仅约一、二代的差距。
张忠谋经仔细思量后，认为台湾适合发展专业晶圆代工厂。在李国鼎的安排下，张忠谋向当时行政院长俞国华简报，成立晶圆代工公司的构想，获得政府的支持。
俞国华院长指示四名财经首长与张忠谋，共组筹备小组，由行政院开发基金主导筹资。
张忠谋计划成立的公司就是台积电，总投资额(包括融资)约2亿美元，自有资金占7成，约台币55亿元，较联电的3.6亿元台币高出很多。
台积电筹资的金额，在当时可以说是天文数字，若是没有政府的支持很难成其事。尤其是当时大部分人对IC产业十分陌生，许多台湾大企业在政府「千拜托、万拜托」之下，方肯投资台积电。事后看来，政府拜托它们投资台积电，可说是给它们「天大的赚钱机会」。
台积电成立时的股权结构为政府的开发基金占48.3%，荷兰飞利浦占27.5%，台湾民间企业占24.2%。
飞利浦除了投资外，也提供台积电技术、专利授权，是台积电重要的伙伴。飞利浦投资台积电，可说是最有价值的投资，2000年起，为了弥补亏损，飞利浦陆续出脱手上的台积电股票，2008年飞利浦卖掉所有的台积电股票，据估算飞利浦投资台积电获利约300倍。
1986年电子所成立「台积电移转专案小组」，全力筹备新公司。
1987年2月，台积电正式成立，实收资本额为新台币13.775亿元，租用工研院的6吋厂接单生产，移转小组约有150位员工转移到台积电。
台积电成立当年以2.5微米及3微米制程，切入市场。1987年总产能为6615片6吋晶圆，台积电的「起手式」令人为之一亮。
台积电成立于IC产业从萌芽期到发展期之际，IC制程技术持续发展，应用市场不断地扩大。
由于景气循环的特性，IC产能常有供不应求的情况，台积电瞄准IDM(整合元件制造厂)在扩厂不及时，对晶圆代工有不小的需求，台积电的晶圆代工服务，可作为IDM调解产能的缓冲区。
另一晶圆代工的重要市场，是快速崛起的无晶圆厂IC设计公司。在台积电尚未成立时，IC设计公司只有寻求IDM为它们代工，不过产能难寻，技术、价格、交期，都有很大的障碍。
专业晶圆代工厂台积电成立后，对IC设计公司而言，是天大的佳音。许多有IC设计能力的工程师们，可以大胆地创业成立IC设计公司，因为有台积电这种专业晶圆代工厂作他们的后盾。
以台湾为例，1986年台湾IC设计公司仅有4家，1987年激缯至30家，1988年增加到50家。这可看出IC设计行业开始快速成长，台积电的出现为IC设计业增添成长的「柴火」。
台积电在很不错的时间点成立，在卓越的管理经营下，步步为营，渡过无数的挑战与危机，30多年的经营绩效成为全球IC产业的典范。
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