ASML最新EUV设备年底交货　每台要价近百亿！体积太大需3架747分批运送

ASML表示一台高数值孔径 EUV设备的体积和卡车相当，每台设备的售价超过 3 亿美元（约96亿台币），可以满足一线晶片制造商的需求，可以在未来10年内制造更小、更好的晶片。

Wennink 表示部分供应商无法提高组件的数量和质量，因此导致略微延误，但整体而言这些困难都可以控制，承诺会在今年底前交付首台机器。

IT之家之前报导，对于后3奈米时代，ASML及其合作伙伴正在开发一种全新的EUV机器Twinscan EXE:5000 系列，该系列机器将具有0.55 NA（高 NA）的透镜，分辨率达8奈米，从而在3奈米及以上节点中尽可能地避免双重或是多重曝光。

目前极紫外光（EUV）机台可支持晶片制造商，将制程推进到3奈米左右，若要往更先进的2奈米制程甚至更小尺寸，就需要高数值孔径极紫外光设备。

由于新一代 High NA EUV比前一代体积大30%左右，重量超过200公吨，至少需要3架波音747分批运送。