综合媒体消息指出,台积电首套High-NA EUV曝光机买价远低于定价,根据先前ASML对外声称的价格为3.8 亿美元(约为新台币120亿元),足足比前一代EUV曝光机价格1.8亿美元高出许多。ASML High NA EUV产品管理副总裁Greet Storms则是在上周SEMICON Taiwan 2024分享最新技术,指出透过采用最新光学元件,将数值孔径从0.33提升至0.55,以提供更高成像解析,临界尺寸将达到8nm,让晶片制造商可以在同样单位面积的晶片上,实现较现今设备高出2.9倍电晶体密度,大幅降低成像缺陷。

此外,Greet Storms也在回应媒体提问,被问及有客户说设备太贵了,她回称,相信对方会议价,而且很多EUV客户也都在买他们的产品。

虽然张晓强再先前声称,A16制程仍可以不使用High-NA EUV曝光机,但是台积电董事长魏哲家今年5月没有出席在新竹的技术论坛,而是跑到欧洲拜访荷兰 ASML 总部,外界认为台积电就算技术优秀,但为了与对手保持竞争,仍会积极采购High-NA EUV曝光机,市场推测,台积电将在今年底收到首套High NA EUV曝光机,但是最新消息指出,台积电将提前在9月底收到设备,并且以远低于市价的折扣取得。

市场推测,可能是英特尔陷入财务难题,抢先取得首套High NA EUV曝光机的优势全无,三星目前在GAA制程良率仍有很大问题,遑论率先采用High-NA EUV曝光机,台积电目前坐拥市场、技术优势,ASML虽然目前营收仍有大半可以靠出口成熟制程设备到中国维持,但是美国晶片禁令只会愈缩愈紧,相比之下,台积电是最有可能大手笔采购设备的厂商。对此,ASML并没有回应评论。


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