林本坚指出，半导体是国家战略产业，人才更是竞争力核心。清华半导体研究学院整合校内教学与研究资源，目标打造国际领先的研究重镇；在技术快速迭代、跨域整合与供应链竞争升温的背景下，与崇越的合作可望加速产学协作，强化先进制程与材料领域的人才与研究能量。
林本坚以突破性「浸润式微影」技术闻名国际，将曝光介质由空气改为纯水，突破解析度极限，延续摩尔定律。崇越亦参与此一技术演进，因应客户制程需求，携手客户与日本信越化学，从材料端精准调校纯水在光阻表面的接触角与表面张力、优化防水层特性，并降低离子迁移与缺陷风险，成功开发可支撑量产的浸润式微影光阻材料。潘重良表示，材料虽微小，却往往是推进制程世代、改写技术路线的关键。
展望未来，崇越科技规划未来五年每年投入300万元支持清华半导体研究学院，深化材料开发与制程研发合作，强化台湾半导体自主创新能力。此次捐赠的三座模型，完整呈现晶圆厂立体架构与厂务系统，涵盖无尘室、机电空调、超纯水、气体与化学品供应，以及废水废气处理，并拟真展示扩散、微影、蚀刻、清洗、薄膜沉积、CMP、离子植入等关键制程，协助学生与参访者直观理解建厂与制程运作。
崇越集团副董事长暨永续长赖杉桂指出，未来将持续以教育支持、技术合作与研发投入，与清华共同培育人才、创造永续价值。
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