在荷兰计划限制半导体设备龙头艾司摩尔(ASML)和其他企业某些设备出口中国之际,美国预料将更进一步,利用其长远影响力从特定中国晶圆厂扣住更多荷兰设备。

美国去年10月以国安为由,对科林研发(Lam Research)和应用材料(Applied Materials)等美国企业出口晶片制造工具实施出口限制,并游说其他主要供应商的国家采取类似行动。

中国驻美大使馆发言人刘鹏宇对美国此举予以谴责,称美方「蓄意封杀、束缚中国企业,强行搬迁产业,推动脱勾」,还称中方会「密切关注事态发展、坚定维护自身利益」。

拥有晶片设备制造商尼康公司(Nikon Corp)、东京威力科创公司(Tokyo Electron Ltd.)的日本,通过限制23种半导体制造设备出口的规定,并将在7月23日生效。

荷兰政府计划30日宣布新规定,要求艾司摩尔第2大产品深紫外光曝光机(Deep Ultraviolet lithography, DUV)设备出口前需先提出许可申请。在此之前,艾司摩尔最精密的极紫外光曝光机(Extreme ultraviolet, EUV)已经受限,禁止出口到中国。

艾司摩尔曾于3月表示,预料荷兰这项规定,将影响TWINSCAN NXT:2000i和其他更精密的设备。

不过艾司摩尔较旧型的DUV设备,如TWINSCAN NXT:1980Di等,也可能遭美国限制出口给中国6家企业。知情人士表示,预料在新的规定中,外国设备就算只用了少量美国零件,也不得卖给法令中点名的6家中国企业。

消息人士表示,荷兰新的规定不会立即生效。一名人士则表示,预料9月才会生效。

至于美国拟定的新规定,消息人士透露,可能会在7月下旬公布,将要求设备出口给6家中国企业时,必须先获得许可,其中包括中国最大晶片制造商中芯国际(SMIC)经营的晶圆厂。但该人士说,许可证可能会遭驳回。

美国新的规定预料将适用于全球领先的晶片设备制造商、荷兰最大企业艾司摩尔,因为其系统包含美国的零件。(中央社)

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