ASM推出全新PE2O8碳化矽磊晶系统　助力高功率元件市场发展

碳化矽技术广泛应用于电动车、绿能及先进资料中心，随著全球电气化趋势加速，功率元件制造商需应对日益增长的碳化矽需求，并致力于降低成本。这一需求推动了碳化矽基板从6吋过渡到8吋，同时制造商也在研发更高功率的元件，这些元件有望从优质的碳化矽磊晶技术中受益。

ASM指出，PE2O8系统采用独特的双腔体设计，实现极度精确的碳化矽沉积，达到高产量与生产率。双腔体设计不仅提高效率，还降低整体营运成本。此外，该系统具备简便的定期维护方案，帮助延长设备正常运行时间，减少停机风险。目前，PE2O8已成功交付给多家全球领先的碳化矽功率元件制造商。

ASM企业副总裁兼PEALD及Epi事业部门总经理Steven Reiter表示，「我们的客户正在从6吋晶圆过渡至8吋晶圆，这对于碳化矽功率产品来说是关键时刻。在更大尺寸晶圆上提供高品质磊晶制程，并有效控制缺陷率至关重要。我们的创新腔体设计长期以来一直是业界稳定性的标竿，如今进一步提升系统能力，为客户创造更高价值。」

自2022年以来，ASM持续透过碳化矽磊晶产品部门，开发并改进其单晶圆碳化矽磊晶系统。随著电动车市场需求结构性增加，碳化矽晶圆和元件的产量同步提升，碳化矽磊晶设备市场也呈现显著增长。