最新进度指出，虽然这台原型机已能成功产生极紫外光，并可正常运作，但尚未制造出可用的晶片。
路透调查发现，在深圳一座高度戒备的实验室内，中国科学家已打造出多年来华府极力阻挡的技术成果，即一台可望生产先进晶片的原型机。这类晶片是人工智慧（AI）、智慧型手机，以及支撑西方军事优势武器系统的核心。
这台原型机于2025年初完成，目前正进行测试，体积几乎占满整个工厂楼层。
中央社报导，两名知情人士透露，这项设备由曾任职荷兰半导体设备大厂艾司摩尔（ASML）的工程师团队打造，透过逆向工程仿制ASML的极紫外光刻机（EUV）。
这些人士表示，中国这台原型机已能成功产生极紫外光，并可正常运作，但尚未制造出可用的晶片。
今年4月，ASML执行长福克（Christophe Fouquet）指出，中国仍需要「非常、非常多年」才能发展出这类技术。不过，这项率先由路透披露的原型机显示，中国距离半导体自主的时间点，可能比分析师预期更近了。
从二手市场取得旧款ASML设备零件
尽管如此，中国仍面临重大技术挑战，特别是在复制西方供应商生产的高精密光学系统方面。
两名知情人士指出，透过在二手市场取得旧款ASML设备零件，使得中国打造这台国产原型机。中国政府设定的目标是在2028年前以这套设备制造出可用晶片，但更现实的时间点可能落在2030年，但仍比外界认为的「至少十年」大幅提前。
中国当局未回应置评请求。
这项突破标志著中国为实现半导体自给自足、历时六年政府计划的里程碑，这也是中国国家主席习近平最优先政策之一。尽管中国的半导体目标早已公开，但深圳极紫外光刻机 计划一直在秘密进行。
这项专案隶属中国半导体战略，中国官媒已证实，这项战略由习近平亲信、中央科技委员会主任丁薛祥主导。
习近平亲信丁薛祥主导
知情人士表示，中国科技巨擘华为在其中扮演关键协调角色，串联全国数千名工程师、企业与国家研究机构。
消息人士形容，这项计划堪称中国版「曼哈顿计划」（Manhattan Project）。「曼哈顿计划」是美国于二战时期研发原子弹的机密工程。
其中一名人士说：「其目标是让中国能由中国制造的设备生产先进晶片。中国希望把美国完全排除在供应链之外。」
华为、中国国务院、中国驻美大使馆以及工信部均未回应置评请求。
全球仅ASML一家公司完全掌握极紫外光刻机技术，设备单价约2.5亿美元，是辉达（Nvidia）、超微（AMD）设计、并由台积电、英特尔（Intel）与三星（Samsung）制造的最先进晶片不可或缺的关键设备。
目前，ASML的极紫外光刻机系统仅供应给美国盟友，包括台湾、韩国与日本。
美国自2018年开始施压荷兰，阻止ASML对中国出售极紫外光刻机系统；2022年拜登政府更扩大出口管制，全面切断中国取得先进半导体技术的管道。
ASML向路透证实，从未向中国客户出售任何极紫外光刻机系统。
这些管制也涵盖较旧的深紫外光（DUV）设备，目的是让中国在晶片制造能力上至少落后一个世代。
根据知情人士，一名被中方招募参与计划的前ASML资深工程师发现，他丰厚的签约金竟伴随一张使用假名的识别证。进入设施后，他认出多名前ASML同事也都使用化名工作，以维持高度保密。
团队成员包括多名近期退休、具中国背景的前ASML工程师与科学家，由于他们掌握关键技术，又较少受到原公司职涯限制，因而成为主要招募对象。
路透访问的两名现任ASML中籍员工表示，他们自2020年以来就遭华为猎才。华为未回应置评请求。
荷兰情报机构今年4月警告，中国透过广泛的间谍计划，以招募西方科学家与高科技企业员工等方式取得先进技术。
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